способ изготовления двухслойного поликристаллического кремния

dvisluoksnio polikristalinio silicio gamybos būdas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. two-polysilicon approach vok. Zweiebenen-Polysiliziumverfahren, n rus. способ изготовления двухслойного поликристаллического кремния, m pranc. méthode de fabrication de silicium polycristallin à deux couches, f